UHP : ระบบก๊าซความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (Ultra High Purity Gas Systems)

ระบบก๊าซความบริสุทธิ์สูงพิเศษ (Ultra High Purity Gas Delivery Systems : UHP) เป็นระบบที่ส่งจ่ายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์ตั้งแต่ 99.9999% ขึ้นไป โดยมีการผสานรวมเทคโนโลยีการฟอกบริสุทธิ์เพิ่มเติม เช่น การแปลงเชิงเร่งปฏิกิริยา (Catalytic Conversion) เพื่อขจัดสารปนเปื้อนในปริมาณเล็กน้อย (Trace Impurities) ออกไป ก๊าซความบริสุทธิ์สูงพิเศษเหล่านี้มีความจำเป็นอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมที่ต้องควบคุมอย่างเข้มงวด เช่น ห้องคลีนรูม ซึ่งการปนเปื้อนเพียงเล็กน้อยก็สามารถสร้างความเสียหายต่อผลิตภัณฑ์ได้ ระบบนี้จึงถูกนำมาใช้ในกระบวนการที่สำคัญที่สุดซึ่งต้องการก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงสุด